αSTEP AZシリーズ搭載 精密位置決めステージ
小惑星探査機はやぶさで採取された隕石の分析から半導体装置の検査まで、最先端技術をささえる神津精機㈱。
その神津精機㈱製の精密位置決めステージに、同じく最先端技術をささえるオリエンタルモーター㈱製のαSTEP(アルファステップ)AZシリーズ、ステッピングモータを組み合わせました。αSTEP(アルファステップ)AZシリーズ搭載タイプは業界初のセンサレス位置決めステージです。
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【新製品】自動Xステージ SXAシリーズ 詳細はこちら⋙ 高精度・高剛性はそのままに、低価格・短納期を実現 ・低価格 ・ロングストローク ・クリーンルーム仕様 |
特徴
高精度
-
・位置決め後の安定性が高い
・バックラッシが少ない
・回転ステージの偏芯量が少ない
・サブミクロンの位置決めが可能
・追従性が非常に高く正確な位置決めを行うため、リトライが 不要で、タクトタイムの短縮に貢献できます。
高剛性・高寿命
・径の大きなクロスローラを使用しているため、高剛性を実現
・外力による影響を受けにくい
用途例
・デジカメ、ムービー ・CCD カメラ組み立て ・LED プリンタ光学エンジン組み立て
・光ファイバー調芯 ・中小型液晶貼り合わせ ・半導体製造装置、等
YRA-200 薄型XYΘステージ |
液晶パネルのアライメント調整 耐荷重35kg |
YRA-071 小型XYΘステージ |
露光装置アライメント合わせ |
RSTA 超高精度アライメントステージ |
ウエハーの張り合せ 耐荷重60kg |
SAシリーズ2軸タイプ |
精密部品挿入 X－Yでの位置合わせ |
X－Y－Θステージ |
プローブコンタクト X－Y－Θでの位置合わせ |
アライメントは、検査及び測定ステージの位置決めを行う位置補正機能のことです。ワークと検査装置やテーブルの位置関係にズレが生じると、不良の発生や生産性の低下につながる恐れがあります。そのため、検査・測定プロセスで省力化を図る際は、ワークの正確な位置決めとアライメントが必須となります。主なプロセスとしては、画像処理システムにおいて検知されたノッチなどのアライメントマークを基に、位置決め、アライアンスを行うことで、正確に位置に素早く補正します。アライメント機能を搭載し測定装置は、歩留まりの改善を実現できます。
組み合わせ出荷対応
用途に合わせてご指示いただいたとおりに個々を組付けて出荷いたします。
X-Yステージ X-Y-Θステージ 6軸アライメント（X-Y-Θ-Z＋スイベルX-Y）
オリエンタルモーター製 αSTEP(アルファステップ) AZシリーズ搭載
αSTEPは“オープンループ制御”と“クローズドループ制御”の利点をハイブリッドした独自制御をおこなう、ステッピングモータベースのモータです。αSTEP AZシリーズを搭載しているため、バッテリレスでアブソリュートシステムを構築でき、非常時の位置情報の保持や、外部センサの削減に貢献します。なお、SXAシリーズはオリエンタルモーター製ステッピングモータ PK/PKPシリーズを搭載したタイプもございます。コスト優先の場合はおすすめいたします。
| 無償制御ソフト『KAZE』をご用意 αSTEP AZシリーズ搭載の精密位置決めステージをパソコンで制御できるソフトウェアです。 1～30軸までシーケンス制御できます。無償で提供いたします。詳細はこちらをご覧ください⋙ |
ラインアップ
■自動Xステージ SXAシリーズ（オリエンタルモーター製ステッピングモーター PK/PKPシリーズ）
| 品名 | テーブルサイズ ［mm］ |
移動範囲 ［mm］ |
最高速度 ［mm/sec］ |
繰り返し位置決め精度 ［μm以下］ |
水平耐荷重 ［N］ |
2DCAD | 3DCAD |
| SXA0530-R01 | 50×60 | ±15 | 10 | ±0.3 | 147 | 準備中 | 準備中 |
| SXA0750-R01 | 75×100 | ±25 | 10 | ±0.3 | 196 | 準備中 | 準備中 |
| SXA0775-R02 | 75×125 | ±37.5 | 10 | ±0.3 | 196 | 準備中 | 準備中 |
| SXA1075-R01 | 100×120 | ±37.5 | 20 | ±0.3 | 343 | 準備中 | 準備中 |
■自動Xステージ SXAシリーズ（オリエンタルモーター製αSTEP AZシリーズ）
| 品名 | テーブルサイズ ［mm］ |
移動範囲 ［mm］ |
最高速度 ［mm/sec］ |
繰り返し位置決め精度 ［μm以下］ |
水平耐荷重 ［N］ |
2DCAD | 3DCAD |
| SXA0530-R01-AZ01 | 50×60 | ±15 | 40 | ±0.3 | 147 | SXA0530-R01-AZ01.dxf | SXA0530-R01-AZ01.stp |
| SXA0750-R01-AZ01 | 75×100 | ±25 | 40 | ±0.3 | 196 | SXA0750-R01-AZ01.dxf | SXA0750-R01-AZ01.stp |
| SXA0775-R02-AZ01 | 75×125 | ±37.5 | 40 | ±0.3 | 196 | SXA0775-R01-AZ01.dxf | SXA0775-R01-AZ01.stp |
| SXA1075-R01-AZ01 | 100×120 | ±37.5 | 40 | ±0.3 | 343 | SXA1075-R01-AZ01.dxf | SXA1075-R01-AZ01.stp |
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■XAシリーズ （オリエンタルモーター製αSTEP AZシリーズ）
| 品名 | テーブルサイズ ［mm］ |
移動範囲 ［mm］ |
最高速度 ［mm/sec］ |
繰り返し位置決め精度 ［μm以下］ |
水平耐荷重 ［N］ |
2DCAD | 3DCAD |
| XA05A-R102-AZ01 | 50×50 | ±7.5 | 2.5 | ±0.3 | 49 | XA05A-R102-AZ01.dxf | 準備中 |
| XA05A-R202-AZ01 | 50×50 | ±7.5 | 10 | ±0.2 | 49 | XA05A-R202-AZ01.dxf | 準備中 |
| XA07A-R103-AZ01 | 70×70 | ±10 | 2.5 | ±0.3 | 98 | XA07A-R103-AZ01.dxf | 準備中 |
| XA07A-R202-AZ01 | 70×70 | ±10 | 10 | ±0.2 | 98 | XA07A-R202-AZ01.dxf | 準備中 |
| XA05A-L202-AZ01 | 50×50 | ±25 | 10 | ±0.5 | 49 | XA05A-L202-AZ01.dxf | 準備中 |
| XA07A-L202-AZ01 | 70×70 | ±35 | 10 | ±0.5 | 68.6 | XA07A-L202-AZ01.dxf | 準備中 |
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■自動Zステージ ZAシリーズ（オリエンタルモーター製αSTEP AZシリーズ）
| 品名 | テーブルサイズ ［mm］ |
移動範囲 ［mm］ |
最高速度 ［mm/sec］ |
繰り返し位置決め精度 ［μm以下］ |
水平耐荷重 ［N］ |
2DCAD | 3DCAD |
| ZA05A-W101-AZ01 | 50×50 | ±4 | 2.5 | ±0.5 | 39.2 | 準備中 | 準備中 |
| ZA07A-W2C02-AZ01 | 70×70 | ±2.5 | 2.5 | ±0.5 | 49 | 準備中 | 準備中 |
| ZA07A-V1F01-AZ01 | 70×70 | ±10 | 2.5 | ±0.5 | 117.6 | 準備中 | 準備中 |
■自動回転ステージ RAシリーズ（オリエンタルモーター製αSTEP AZシリーズ）
| 品名 | テーブルサイズ ［mm］ |
移動範囲 ［°］ |
最高速度 ［°/sec］ |
水平耐荷重 ［N］ |
2DCAD | 3DCAD |
| RA05A-W02-AZ01 | φ49 | 360 | 20 | 39.2 | 準備中 | 準備中 |
| RA07A-W02-AZ01 | φ68 | 360 | 20 | 58.8 | 準備中 | 準備中 |
| RA07A-T02-AZ01 | 70×70 | ±5 | 13.64 | 78.4 | 準備中 | 準備中 |
■自動スイベル（ゴ二オ）ステージ SAシリーズ（オリエンタルモーター製αSTEP AZシリーズ）
| 品名 | テーブルサイズ ［mm］ |
移動範囲 ［mm］ |
最高速度 ［mm/sec］ |
繰り返し位置決め精度 ［°以下］ |
水平耐荷重 ［N］ |
2DCAD | 3DCAD |
| SA05B-RT02-AZ01 | 50×50 | ±10 | 7.76 | ±0.001 | 29.4 | 準備中 | 準備中 |
| SA05B-RM02-AZ01 | 50×50 | ±10 | 6 | ±0.001 | 29.4 | 準備中 | 準備中 |
| SA05B-RB02-AZ01 | 50×50 | ±8 | 4.8 | ±0.001 | 29.4 | 準備中 | 準備中 |
| SA07A-RT02-AZ01 | 70×70 | ±10 | 7.66 | ±0.001 | 29.4 | 準備中 | 準備中 |
| SA07A-RM02-AZ01 | 70×70 | ±10 | 6 | ±0.001 | 29.4 | 準備中 | 準備中 |
| SA07A-RB02-AZ01 | 70×70 | ±8 | 4.8 | ±0.001 | 29.4 | 準備中 | 準備中 |
| SA05A-R2T01-AZ01 | 50×50 | ±5 | 21.3 | ±0.003 | 29.4 | 準備中 | 準備中 |
| SA05A-R2M01-AZ01 | 50×50 | ±4.5 | 15.9 | ±0.003 | 29.4 | 準備中 | 準備中 |
| SA05A-R2B01-AZ01 | 50×50 | ±3.5 | 12.7 | ±0.003 | 29.4 | 準備中 | 準備中 |
| SA05A-R2G01-AZ01 | 50×50 | ±3 | 10.6 | ±0.003 | 29.4 | 準備中 | 準備中 |
| SA07A-R2T01-AZ01 | 70×70 | ±5 | 11.3 | ±0.001 | 49 | 準備中 | 準備中 |
| SA07A-R2M01-AZ01 | 70×70 | ±4.5 | 8.4 | ±0.001 | 49 | 準備中 | 準備中 |
| SA07A-R2B01-AZ01 | 70×70 | ±4 | 6.7 | ±0.001 | 49 | 準備中 | 準備中 |
■SAシリーズ 2軸タイプ （オリエンタルモーター製αSTEP AZシリーズ）
| 品名 | テーブルサイズ ［mm］ |
移動範囲 ［mm］ |
最高速度 ［mm/sec］ |
繰り返し位置決め精度 ［°以下］ |
水平耐荷重 ［N］ |
2DCAD | 3DCAD |
| SA05B-RS02-AZ01 | 50×50 | ±10 | 6 | ±0.001 | 19.6 | 準備中 | 準備中 |
| SA05B-RL02-AZ01 | 50×50 | ±10 | 4.8 | ±0.001 | 19.6 | 準備中 | 準備中 |
| SA07A-RS02-AZ01 | 70×70 | ±10 | 6 | ±0.001 | 19.6 | 準備中 | 準備中 |
| SA07A-RL02-AZ01 | 70×70 | ±10 | 4.8 | ±0.001 | 19.6 | 準備中 | 準備中 |
| SA05A-R2S01-AZ01 | 50×50 | ±5 | 21.3 | ±0.003 | 29.4 | 準備中 | 準備中 |
| SA05A-R2L01-AZ01 | 50×50 | ±4.5 | 15.9 | ±0.003 | 29.4 | 準備中 | 準備中 |
| SA05A-R2BG01-AZ01 | 50×50 | ±3.5 | 12.7 | ±0.003 | 29.4 | 準備中 | 準備中 |
| SA07A-R2S01-AZ01 | 70×70 | ±4.5 | 11.3 | ±0.001 | 42.1 | 準備中 | 準備中 |
| SA07A-R2L01-AZ01 | 70×70 | ±4 | 8.4 | ±0.001 | 42.1 | 準備中 | 準備中 |
■組み合わせ対応ドライバ（別売り）
 パルス列タイプ |
 位置決め機能内蔵タイプ |
 EtherCAT,EtherNet/IP, PROFINET |
| ドライバタイプ | 単相100-120V用 | 単相/三相200-240V用 | DC24V/48V用 | |
| ドライバ単体 （単軸） |
パルス列タイプ | AZD-A | AZD-C | AZD-K |
| 位置決め機能内蔵タイプ | AZD-AD | AZD-CD | AZD-KD | |
| RS485通信/パルス列入力タイプ | AZD-AX | AZD-CX | AZD-KX | |
| EtherNet/IP対応 | AZD-AEP | AZD-CEP | AZD-KEP | |
| EtherCAT対応 | AZD-AED | AZD-CED | AZD-KED | |
| PROFINET対応 | AZD-APN | AZD-CPN | AZD-KPN |
■多軸ドライバ（電源入力仕様：DC24/48V)
SSCNETⅢ/H、MECHATROLINK-Ⅲ、EtherCATドライブ プロファイルに対応した多軸ドライバ（2、3、4軸まで接続可能）もございます。
| ドライバ電源入力 | 軸数 | EtherCAT対応 | SSCNETⅢ/H対応 | MECHATROLINK-Ⅲ対応 |
| DC24/48V | 2軸 | AZD2B-KED | AZD2B-KS3 | AZD2B-KM3 |
| 3軸 | AZD3A-KED | AZD3A-KS3 | AZD3A-KM3 | |
| 4軸 | AZD4A-KED | AZD4A-KS3 | AZD4A-KM3 |
■ｍiniドライバ（電源入力仕様：DC24/48V)
モバイルオートメーション対応のminiシリーズドライバもございます。（バッテリ電源対応、RS-485通信対応）
従来品（AZD-KD)に比べ60%以上サイズダウンしており、狭いスペースにも収まるコンパクト設計となっています。
※別売のネットワークコンバータ（ゲートウェイ）を併用すると、CC-Link、MECHATROLINK、EtherCATによる制御が可能です。
miniドライバはこちらから»
