オリエンタルモーター　真空対応モータ

【特徴】
・真空対応モータ
・クローズドループ制御
・低発熱
・発生アウトガス低減

  

特徴

半導体製造装置やFPD製造装置、分析装置各種分析装置などでは、真空中で高精度な位置決め制御が要求されるため、真空用ステッピングモータが多く使用されて
います。しかし、通常の真空用ステッピングモータは、オープンループ制御のため、密閉された真空容器内で位置ずれが発生してもわかりません。
この問題を解決し、信頼性をさらに高めるため、オリエンタルモーター独自のフィードバック制御技術を搭載した、ARシリーズ真空タイプを開発しました。
モータに真空対応センサを搭載し、高真空（10-1～10-5Pa）で使用可能です。また、モータの低損失化と、ドライバの新しい電流制御方式の追加により、
大幅な発熱低減を実現しました。
運転タクトタイムの向上、発生アウトガスの低減が可能です。真空環境（10-5Pa）に対応10-5Paの真空環境下で使用できる、ステッピングモータユニットです。
真空環境装置内での位置決め運転が可能なほか、回転導入機を使わないことで、装置のコンパクト化に貢献します。
装置のコンパクト化クローズドループ制御による高信頼性真空容器（チャンパー）内にあるモータの回転速度・回転量の情報を監視するほか、各種アラーム出力
機能を搭載しています。
高効率化による発熱低減高効率のモータ・ドライバにより、放熱性の低い真空中でも高トルクでの運転を実現します。カレントコントロールモード負荷に応じた
電流制御モードです。
さらなる発熱低減・磁気音の低減を検討したい場合にお試しください。（負荷が小さい場合に有効です。）
CEマーキングDC電源入力のラインアップは、EMC指令に対してCEマーキングを実施しています。
今回開発した真空対応レゾルバセンサは、電磁鋼板を積層した鉄心に巻線をほどこしたセンサステータと、シャフトに鉄心を締結したセンサロータで構成されます。
センサロータとセンサステータの位置関係により、巻線のインダクタンスが変化し、センサからの出力電圧が変化します。
この出力電圧にドライバ内で各種信号処理を加えることで、モータのロータ位置を検出します。
センサ部に電子部品を搭載する必要がないため、真空中で使用可能な材料を使用することで、真空中で動作可能なセンサが構成できます。
高温環境でも安定した動作が行えるため、モータ温度が高くなりやすい真空中のセンサとして適しています。

　　

　

ラインアップ

ARシリーズ真空対応モータ　

オープンループ制御5相PKシリーズにも真空タイプを用意しています。
取付角28mm　　　　　　　取付角42/60ｍｍ