オリエンタルモーター EZSシリーズ クリーンルーム対応

【特徴】
・ストローク50~850ｍｍ
・最高速度800mm/s
・最大可搬重量水平60kg　垂直30kg
・繰り返し位置決め精度±0.02ｍｍ
・クリーンルーム対応
・幅54ｍｍ、74ｍｍ

   

特 徴

小型、高剛性、簡易防塵構造、クリーンルーム対応の電動スライダです。 モータ部にαSTEP ARシリーズ、AZシリーズを搭載。
ステッピングモーターならではの、高応答、低振動、ハンチングなしの動きを 電動スライダで実現。
ストレートタイプ、折返しタイプと装置スペースに合わせて 選べるバリエーションをご用意しました。
駆動部のモーターは、“オープンループ制御”と“クローズドループ制御”の利点をハイブリッドした独自制御をおこなう、
ステッピングモーターベースのモーターです。モータの位置を常時監視し、状況に応じて2つの制御を自動で切り替えます。
通常時はオープンループ制御で指令に同期して駆動し、高応答性を発揮。過負荷時はクローズドループ制御でモータ位置を補正しながら運転を継続します。
使いやすさと信頼性を両立したモーターです。バッテリーレス機械式アブソリュートエンコーダを搭載しているので、 原点センサ、リミットセンサなどの外部センサは不要ながら位置決め制御が可能です。

簡易防塵構造

テーブル部にステンレスシートとローラー構造を採用した簡易防 塵構造によって異物の侵入を防止し、発塵も抑制します。テーブル部に低発塵のローラー構造を搭載し、ステンレスシート と転がり接触することで、摩耗粉の発生を防ぎます。 発塵を抑え るだけでなく、ステンレスシートの耐久性向上につながります。

クリーンルーム対応

EZSシリーズ クリーンルーム対応は、EZSシリーズの機能・性能はそのままに、クリーンルーム対応を実現した製品です。
クリーンルーム対応 （ISO規格 クリーン度クラス3） 低発塵のローラー構造に加え、低発塵クリーングリースの採用により、
ISO規格 クラス3（FED規格クラス1相当）のクリーン度を実現しました。

低発塵クリーングリース使用 ボールねじやガイド、ベアリングなどに低発塵クリーングリースを採用しています。
少ない吸引量でクラス3のクリーン度を実現 例えばEZS3の場合、約20ℓ/min以上の内部吸引量でISO規格 クラス3のクリーン度を可能にします。

　

タイプと構造

ラインアップ　

5種類のドライバと組み合わせが可能です。
組合わせるドライバに関する詳細についてはこちらを参照ください。