IKO アライメントステージ SA・・・DE
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リニアモータ駆動のX、Y軸は、分解能0.1μmと0.5μmの2種類をラインナップ。用途に合わせて最適な選択ができます。
アライメントステージSA・・・DEは、直線案内部にリニアウェイLとリニアモータ駆動を採用した可動テーブルを二軸直交に組み合わせたXY軸と、回転案内部のθ軸にクロスローラベアリングとダイレクトドライブモータを採用し、XYθ運動を実現する低断面でコンパクトなアライメントステージです。
高分解能リニアエンコーダとフルクローズドループ制御の組み合せにより、バックラッシのない高精度な位置決め動作を実現します。
さらに、直線移動用のX軸可動テーブルと、回転位置決め部であるθ軸ターンテーブルを標準化しているので、X軸とθ軸の組み合わせや、XY軸のアライメントテーブルを簡単に構築することができます。
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特長
XYθの組み合わせが自由
直線移動用のXテーブルと、回転位置決め部であるθテーブルを基本構成としてラインナップ。
X軸とθ軸の組み合わせやXY軸のアライメントテーブルを簡単に構築することができます。
薄形・コンパクト
コアレスリニアモータとリニアウェイL、クロスローラベアリングを採用。
ボールねじ駆動のステージと比較して、極めて低い断面高さを実現しています。
高分解能・高応答
高分解能リニアエンコーダを内蔵したダイレクトドライブ方式のステージをフルクローズドループ制御することにより、高分解能と高精度を実現しました。
ラインアップ
| 形式と大きさ | SA65DE/X | SA120DE/X | SA200DE/X | SA65DE/S | SA120DE/S | SA200DE/S |
| 断面形状 |  |
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仕様
仕様・性能
| 項目 | 呼び番号 | |||||
| SA65DE/1X | SA65DE/5X | SA120DE/1X | SA120DE/5X | SA200DE/1X | SA200DE/5X | |
| 最大推力 ※1［N］ | 25 | 70 | 400(250)(※9) | |||
| 定格推力 ※2［N］ |
3.5 | 15(※8) | 70 | |||
| 有効ストローク長さ［mm］ |
10 | 20 | 20 | |||
| 最大可搬質量 ※3［kg］ |
2.4 | 5.9 | 30.0(20.0)(※9) | |||
| 分解能 ［μm］ |
0.1 | 0.5 | 0.1 | 0.5 | 0.1 | 0.5 |
| 最高速度 ※4※5［mm/s］ |
270 | 500 | 270 | 800 | 270 | 800 |
| 繰返し位置決め精度※6［μm］ |
±0.5 | |||||
| 可動部質量［kg］ |
0.17 | 1.2 | 3.4 | |||
| 総質量 ※7［kg］ |
0.35 | 2.5 | 7.2 | |||
| 使用周囲温度・湿度 | 0～40℃・20～80％RH（結露しないこと） | |||||
注※1 最大推力の持続時間は最大1秒です。
2 周囲温度20℃、金属製の相手部材に取り付けた場合です。
3 0.5Gの加速度が得られる最大質量です。
4 表示温度を超える場合については、IKOにお問い合わせください。
5 使用するコントローラの最高出力周波数、ドライバの種類・設定によっては、この最高速度に達しない場合があります。
6 製品本体の温度が一定の場合です。
7 コードの質量は含んでいません。
8 定格推力は、有効ストローク範囲内に適用します。
9 （ ）内の値はADVA-R5MLドライバと組み合わせた場合です。
2 周囲温度20℃、金属製の相手部材に取り付けた場合です。
3 0.5Gの加速度が得られる最大質量です。
4 表示温度を超える場合については、IKOにお問い合わせください。
5 使用するコントローラの最高出力周波数、ドライバの種類・設定によっては、この最高速度に達しない場合があります。
6 製品本体の温度が一定の場合です。
7 コードの質量は含んでいません。
8 定格推力は、有効ストローク範囲内に適用します。
9 （ ）内の値はADVA-R5MLドライバと組み合わせた場合です。
| 項目 | 呼び番号 | ||||||
| SA65DE/S | SA65DE/T | SA120DE/S | SA120DE/T | SA200DE/S※8 | SA200DE/T※9 | ||
| 最大推力 ※1［N］ |
0.5 | 2.0 | 8.0（6.0） | ||||
| 定格推力 ※2［N］ |
0.06 | 0.4 | 2.0 | ||||
| 最大可搬質量 ※3［kg］ |
2.2 | 6.8 | 21.2（17.1） | ||||
| 有効動作角度 ［度］ |
50 | 無限回転 | 60 | 無限回転 | 280 | 無限回転 | |
| 分解能 | ［秒］ |
0.64 | 0.63 | 0.36 | 0.25 | 0.50 | |
| ［pulse/度］ | 5625 | 5700 | 10000 | 14400 | 7200 | ||
| 最高速度 ※4※5［mm/s］ |
720 | 400 | 720 | 270 | 720 | ||
| 繰返し位置決め精度※6［μm］ |
±1.3 | ±0.8 | ±0.5 | ±1.0 | |||
| 可動部慣性モーメント［kg・㎡］ |
0.00012 | 0.002 | 0.013 | ||||
| 総質量 ※7［kg］ |
0.5 | 2 | 6.0 | ||||
| 使用周囲温度・湿度 | 0～40℃・20～80％RH（結露しないこと） | ||||||
2 周囲温度20℃、金属製の相手部材に取り付けた場合です。
3 0.5Gの加速度が得られる最大質量です。
4 表示温度を超える場合については、IKOにお問い合わせください。
5 使用するコントローラの最高出力周波数、ドライバの種類・設定によっては、この最高速度に達しない場合があります。
6 製品本体の温度が一定の場合です。
7 コードの質量は含んでいません。
8 （ ）内の値はADVA-R5MLドライバ(100V)と組み合わせた場合です。
9 （ ）内の値はADVA-R5MLドライバ(100V)と組み合わせた場合です。
