IKO ナノリニア
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ナノリニア®NTは、ムービングマグネット方式の極めて断面高さの低いリニアモータテーブルです。
可動テーブル案内部には、小形直動案内機器の分野で定評のあるリニアウェイ、またはクロスローラウェイを使用し、リニアモータと高分解能リニアエンコーダの組合せにより高精度な位置決めを実現します。
高性能ネオジム磁石の採用により大きな推力が得られるため、極めて小形でありながら高速・高応答な位置決めが可能です。また、可動ケーブルのない画期的な駆動方式の採用により、機械的接触部分は直動案内機器のみなので、高い清浄度を発揮します。
- 全体ラインアップ
- NT・・・V
【スタンダードタイプ】 - NT・・・H
【高精度タイプ】 - NT・・・XZ
【ピック＆プレイス
ユニット】 - NT・・・XZH
【高推力ピック＆プレイス
ユニット】 - リニアモータテーブルLT
- アライメントステージSA・・・DE
全体ラインアップ
| シリーズ | NT・・・V 【スタンダードタイプ】 |
NT・・・H 【高精度タイプ】 |
NT・・・XZ 【ピック＆プレイス ユニット】 |
NT・・・XZH 【高推力ピック＆プレイス ユニット】 |
リニアモータテーブルLT | アライメントステージ SA・・・DE |
| 外観 | |
 |
 |
 |
 |
 |
| 特長 | 高精度 薄型 軽量 コストパフォーマンス |
超高精度 高剛性 |
高精度 薄型 ピック＆プレイス |
高精度 高速可動 薄型 ピック＆プレイス |
高推力 高速可動 ロングストローク |
高精度 薄型 |
| 有効ストローク | ～120mm | ～65mm | X：45mm、Z：10mm | X：25mm、Z：10mm | ～2760mm | ～20mm、～280度 |
| 最大推力 | 3～36N | 25N | 25～50N | 70N | 120～900N | 0.5～8Nm |
| 最大可搬 質量 |
0.5～5kg | 5kg | 0.1kg | 0.2kg | 12～90kg | 2.2～30kg |
| 繰返し位置 決め精度 |
±0.5μm | ±0.1μm | ±0.5μm | ±0.5μm | ±0.5～±1μm | ±0.5μm ±0.5～±1.3秒 |
NT・・・V【スタンダードタイプ】
-
IKOナノリニアNT・・・Vは、鋼製の可動テーブル部にマグネットと光学式リニアエンコーダ用スケール、鋼製のベッドに固定子コイル、リニアエンコーダ用ヘッドなどを配置した機能美に優れたコンパクトなリニアモータテーブルです。
テーブルの案内部には、小形直動案内機器の分野で定評のあるIKOリニアウェイとリニアモータの組み合わせにより高精度な位置決めを実現します。
可動子には、高性能ネオジム磁石の採用により、極めて小形でありながら大きな推力が得られ、高速・高応答な位置決めが可能です。また、機械的接触部は、リニアウェイのみなので、高いクリーン度を実現します。
ナノリニアNTは、半導体・液晶関連製造装置やクリーン環境が要求される検査装置や電子部品組み立て装置などのコンパクトな位置決め機構として最適です。
特長
●コンパクト
コンパクト化を徹底的に追求しました。多数テーブルを積層状態にしてもスペースが増大せず、位置決め構造の更なる小型化に貢献します。
| 形式と大きさ | NT30V8 | NT30V20 | NT55V25 | NT55V65 | NT80V25 | NT80V65 | NT80V120 |
| 断面形状 mm |  |
 |
 |
||||
| 有効ストローク長さ | 8 | 20 | 25 | 65 | 25 | 65 | 120 |
●XY二軸組み合わせ仕様
NT80Vを2台直接組合せ、特別なアタッチメントを必要とせず、低断面のXYのテーブルが簡単に構築できます。
【仕様】
NT30Vの仕様・性能
| 項目 | 形式と大きさ | |||
| NT30V8 | NT30V20 | |||
| 最大推力 ※1［N］ |
3 | |||
| 定格推力 ※2［N］ | 0.7 | 1 | ||
| 最大可搬質量 ※3［kg］ |
0.5 | |||
| 有効ストローク長さ［mm］ |
8 | 20 | ||
| 分解能［μm］ |
0.1 | 0.5 | 0.1 | 0.5 |
| 最高速度 ※4［mm/s］ |
270 | 500 | 270 | 500 |
| 繰返し位置決め精度 ※5［μm］ |
±0.5 | |||
| 可動部質量［kg］ |
0.025 | 0.035 | ||
| 総質量 ※6［kg］ |
0.170 | 0.190 | ||
| 使用周囲温度・湿度 | 0～40℃・20～80％RH（結露しないこと） | |||
3 0.5Gの加速度が得られる最大質量です。
NT55Vの仕様・性能
| 項目 | 形式と大きさ | |||||
| NT55V25 | NT55V65 | |||||
| 最大推力 ※1［N］ |
25 | |||||
| 定格推力 ※2［N］ |
7 | |||||
| 最大可搬質量 ※3［kg］ |
5 | |||||
| 有効ストローク長さ［mm］ |
25 | 65 | ||||
| 分解能 ［μm］ |
0.1 | 0.5 | 0.1 | 0.5 | ||
| 最高速度 ※4［mm/s］ |
270 | 1000 ※7 | 1300 | 270 | 1000 ※7 | 1300 |
| 繰返し位置決め精度 ※5［μm］ |
±0.5 | |||||
| 可動部質量［kg］ |
0.17 | 0.17 | ||||
| 総質量 ※6［kg］ |
0.42 | 0.5 | ||||
| 使用周囲温度・湿度 | 0～40℃・20～80％RH（結露しないこと） | |||||
3 0.5Gの加速度が得られる最大質量です。
NT80Vの仕様・性能
| 項目 | 形式と大きさ | ||||||||
| NT80V25 | NT80V65 | NT80V120 | |||||||
| 最大推力 ※1［N］ |
36 | ||||||||
| 定格推力 ※2［N］ |
8 | ||||||||
| 最大可搬質量 ※3［kg］ |
5 | ||||||||
| 有効ストローク長さ［mm］ |
25 | 65 | 120 | ||||||
| 分解能［μm］ |
0.1 | 0.5 | 0.1 | 0.5 | 0.1 | 0.5 | |||
| 最高速度 ※4［mm/s］ |
270 | 1000 ※7 | 1300 | 270 | 1000 ※7 | 1300 | 270 | 1000 ※7 | 1300 |
| 繰返し位置決め精度 ※5［μm］ |
±0.5 | ||||||||
| 可動部質量［kg］ |
0.28 | 0.28 | 0.47 | ||||||
| 総質量 ※6［kg］ |
0.68 | 0.83 | 1.4 | ||||||
| 使用周囲温度・湿度 | 0～40℃・20～80％RH（結露しないこと） | ||||||||
3 0.5Gの加速度が得られる最大質量です。
7 高速仕様に適用します。
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NT・・・H【高精度タイプ】
-
IKOナノリニアNT・・・Hは、テーブル案内部にローラタイプのラック＆ピニオン内蔵形クロスローラウェイを使用し、1μm以下の位置決め精度と走行真直度で、高い剛性と空気静圧軸受にせまる脈動のないなめらかな作動を実現した高精度なリニアモータテーブルです。
特長
優れた位置再現性
テーブル案内部にローラタイプの『ラック＆ピニオン内蔵形クロスローラウェイ』を採用することで、高い剛性と空気静圧軸受にせまる脈動のない作動を実現。
移動による姿勢の変化が極めて少なく、位置再現性に優れています。
1μm以下の位置決め精度と走行真直度を実現
構成部品すべての精度を徹底的に追求、精密に組み上げることで、1μm以下の位置決め精度と走行真直度を実現します。
高い速度安定性
極めて滑らかな作動の『ラック＆ピニオン内臓形クロスローラウェイ』、コアレスムービングマグネットタイプのリニアモータ、高性能サーボドライバの組合せに
より、高い速度安定性を実現します。(10mm/s移動時、±1％以下)
仕様
NT・・・Hの仕様・性能
| 項目 | 形式と大きさ | |||
| NT88H25 | NT88H65 | |||
| 最大推力 ※1［N］ |
25 | |||
| 定格推力 ※2［N］ |
5 | |||
| 最大可搬質量 ※3［kg］ |
5 | |||
| 有効ストローク長さ［mm］ |
25 | 65 | ||
| 分解能［μm］ |
0.01 | 0.05 | 0.01 | 0.05 |
| 最高速度 ※4［mm/s］ |
90 | 400 | 90 | 400 |
| 位置決め精度 ※5［μm］ |
1 | |||
| 繰返し位置決め精度 ※6［μm］ |
±0.1 | |||
| 運動平行度A［μm］ |
5 | |||
| 姿勢精度 ※7［秒］ |
5 | |||
| 垂直真直度・水平真直度［μm］ |
1 | |||
| 可動部質量［kg］ |
0.7 | 0.9 | ||
| 総質量 ※8［kg］ |
1.6 | 2 | ||
| 使用周囲温度・湿度 | 0～40℃・20～80％RH（結露しないこと） | |||
2 周囲温度20℃、金属製の相手部材に取り付けた場合です。
3 0.5Gの加速度が得られる最大質量です。
4 使用するコントローラの最高出力周波数、ドライバの種類・設定によっては、この最高速度に達しない場合があります。
5 周囲及び製品本体の温度が20℃の時の値です。
6 製品本体の温度が一定の場合です。
7 ピッチング及びヨーイングを示します。
8 コードの質量は含んでいません。
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NT・・・XZ【ピック＆プレイスユニット】
-
NT・・・XZは、テーブル案内部に小形直動案内機器のCループリニアウェイLを使用し、X軸の可動テーブルとZ軸のベッドを一体化することで、厚さ18mmの超薄型化を実現したリニアモータ駆動のピック＆ブレイスユニットです。
位置決めプログラムを入力することにより、自由自在な運転パターンが可能で、ワークに合わせたストローク変更も簡単に対応できます。
特長
リニアモータ駆動のピック＆プレイスユニット
リニアモータ駆動による他に類例のない構造の超薄型ピック＆プレイスユニット。
XZの2軸構成でリニアエンコーダを搭載し、精密で高タクトな位置決めを実現します。
超薄型・省スペース
厚み18mmの超薄型、幅100mmのスペースに4台並べて設置することが可能で、省スペース配置で効率アップに貢献します。
仕様
NT・・・XZの仕様・性能
| 項目 | 形式と大きさ | |||||
| NT80XZ4510 | ||||||
| X軸 | Z軸 | |||||
| 最大推力 ※1［N］ | 50 | 25 | ||||
| 定格推力 ※2［N］ |
10 | 2.5 | ||||
| 最大可搬質量 ※3［kg］ |
0.1 | |||||
| 有効ストローク長さ［mm］ |
45 | 10 | ||||
| 分解能［μm］ |
0.1 | 0.5 | 0.1 | 0.5 | ||
| 最高速度 ※4［mm/s］ |
270 | 1000(※8) | 1300 | 270 | 800(※8) | 800 |
| 繰返し位置決め精度 ※5［μm］ |
±0.5 | |||||
| 可動部質量［kg］ |
0.6(※9) | 0.12 | ||||
| 総質量 ※6［kg］ |
1.6 | |||||
| 使用周囲温度・湿度 | 0～40℃・20～80％RH（結露しないこと） | |||||
2 周囲温度20℃、金属製の相手部材に取り付けた場合です。
3 0.5Gの加速度が得られる最大質量です。
4 使用するコントローラの最高出力周波数、ドライバの種類・設定によっては、この最高速度に達しない場合があります。
5 製品本体の温度が一定の場合です。
6 コードの質量は含んでいません。
7 空気流量20NL/minのときです。
8 高速仕様に適用します。
9 Z軸の可動部質量を含みます。
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NT・・・XZH【高推力＆プレイスユニット】
-
NT・・・XZHは、テーブル案内部に小型直動案内機器のCルーブリニアウェイを使用し、X軸とZ軸をコンパクトに一体化した、リニアモータ駆動の高推力ピック＆プレイスユニットです。
リンク機構を用いて可動テーブルを駆動する方式を採用することで、リニアモータの高推力化と可動部の軽量化を両立し、タクトタイムの短縮を実現します。
位置決めプログラムを入力することにより、自由自在な運転パターンが可能で、ワークに合わせたストローク変更も簡単に対応できます。
特長
リニアモータ駆動のピック＆プレイスユニット
リニアモータ駆動による他に類例のない構造の高推力ピック＆プレイスユニット。
リニアエンコーダを搭載したX軸とZ軸をコンパクトに一体化し、高推力・高タクトな位置決めを実現します。
高推力・高タクト
X軸とZ軸のモータを平面上に配置し、リンク機構を用いて可動テーブルを駆動する方式を採用することで、
リニアモータの高推力と可動部の軽量化を両立、大幅なタクトタイムの短縮を実現しました。
高分解能・高応答
両軸ともに光学式リニアエンコーダを搭載してフルクローズドループ制御することにより、高分解能と
高応答を実現します。
空冷
発熱源となるコイルを固定子に集約した構造になっており、冷却や取付けベースへの放熱が容易です。
空冷オプションを指定することで、さらなるタクトタイムの短縮が可能になります。
可動部ケーブルレス
多軸ユニットでありながら、可動部にケーブルのないムービングマグネット方式を採用しているので、
配線の処理が容易なうえ、高いクリーン度を実現します。
仕様
NT・・・XZHの仕様・性能
| 項目 | 形式と大きさ | |||||
| NT90XZH2510 | ||||||
| X軸 | Z軸 | |||||
| 最大推力 ※1［N］ |
70 | |||||
| 定格推力 ※2［N］ |
自冷：16 空冷(※7)：20 | |||||
| 最大可搬質量 ※3［kg］ |
0.2 | |||||
| 有効ストローク長さ［mm］ |
25 | 10 | ||||
| 分解能［μm］ |
0.1 | 0.5 | 0.1 | 0.5 | ||
| 最高速度 ※4［mm/s］ |
270 | 1000(※8) | 1300 | 270 | 1000(※8) | 1000 |
| 繰返し位置決め精度 ※5 ［μm］ |
±0.5 | |||||
| 可動部質量［kg］ |
0.38 | 0.35 | ||||
| 総質量 ※6［kg］ |
2.8 | |||||
| 使用周囲温度・湿度 | 0～40℃・20～80％RH（結露しないこと） | |||||
2 周囲温度20℃、金属製の相手部材に取り付けた場合です。
3 0.5Gの加速度が得られる最大質量です。
4 使用するコントローラの最高出力周波数、ドライバの種類・設定によっては、この最高速度に達しない場合があります。
5 製品本体の温度が一定の場合です。
6 コードの質量は含んでいません。
7 空気流量20NL/minのときです。
8 高速仕様に適用します。
9 Z軸の可動部質量を含みます。
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リニアモータテーブルLT
IKOリニアモータテーブルLTは、アルミニウム合金製の可動テーブルとベッドの間にACリニアサーボモータを組み込み、光学式リニアエンコーダを内蔵したコンパクトで高精度な位置決めテーブルです。
コンパクトシリーズのLT・・・CE、ロングストロークシリーズのLT・・・LD及びハイスラストシリーズのLT・・・Hの3つのシリーズを用意しており、用途に合わせて選択できます。
リニアモータテーブルLTは、軽量な可動テーブルと大きな推力により、高加減速・高応答な動作を可能とします。さらに、先進のサーボ技術が、高い静止安定性と速度安定性を実現しています。リニアモータテーブルLTは、半導体・液晶関連装置や、高速での作業を要求される測定機器・組立及び搬送機などの用途に最適です。
LT・・・CE【コンパクトタイプ】
-
LT・・・CEは、テーブル案内部に小形直動案内機器のCルーブリニアウェイLを使用し、可動テーブルには軽量なアルミニウム合金を採用した、コンパクトでも大きな推力を発生するリニアモータテーブルです。
特長
コンパクト
CルーブリニアウェイLと小型の光学式リニアエンコーダを採用し、コンパクト化を徹底追及した低断面設計。
最小断面高さ30mm(LT100CE)を実現しました。
高加減速・高応答
コンパクトでも大きな推力を発生。アルミニウム合金製の軽量な可動テーブルで高加減速・高応答な位置決めを実現しました。
タクトタイムの短縮に貢献します。
ラインアップ
| 項目 | コンパクトタイプLT・・・CE | ||||||||
| LT100CEG | LT150CEG | LT150CETF | |||||||
| 推力・速度の仕様 | 高推力仕様 | 高推力仕様1 | 高推力仕様2 | ||||||
| 断面形状 |  |
 |
 |
||||||
| 最大推力［N］ | 120 | 350 | 390 | ||||||
| 定格推力［N］ | 15 | 60 | 70 | ||||||
| 最大可搬質量 ※1［kg］ | 12 | 35 | 39 | ||||||
| 有効ストローク長さ［mm］ | 1000 | 1200 | 1200 | ||||||
| 分解能［μm］ |
0.1 | 0.5 | 1.0 | 0.1 | 0.5 | 1.0 | 0.1 | 0.5 | 1.0 |
| 最高速度［mm/s］ |
690 | 2000 | 2000 | 690 | 2000 | 2000 | 690 | 2000 | 2000 |
| 繰返し位置決め精度［μm］ |
±0.5 | ±0.5 | ±1.0 | ±0.5 | ±0.5 | ±1.0 | ±0.5 | ±0.5 | ±1.0 |
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LT・・・LD【ロングストロークタイプ】
-
LT・・・LDは、テーブル案内部につなぎ仕様トラックレールのCルーブリニアウェイEを使用し、ロングストロークと高速運転を実現するリニアモータテーブルです。
特長
高速
ダイレクトドライブにより高精度の位置決めと高速を両立しています。
ロングストロークの用途で要求される高速運転にも対応。
最高速度3000mm/sまでの高速運動が可能
超ロングストローク
つなぎ仕様トラックレールのCルーブリニアウェイEを採用し、リニアモータ駆動ならではの最大2760mmのロングストロークを実現しました。
(これ以上のストローク品に関しましてはIKOにご相談ください。)
ラインアップ
| 項目 | ロングストロークタイプLT・・・LD | |||||||||||
| LT130LDG | LT170LDG | LT170LDTF | LT170LDV | |||||||||
| 推力・速度の仕様 | 高推力仕様 | 高推力仕様１ | 高推力仕様２ | 高速仕様 | ||||||||
| 断面形状 |  |
 |
 |
 |
||||||||
| 最大推力［N］ |
120 | 350 | 390 | 145 | ||||||||
| 定格推力［N］ | 15 | 60 | 70 | 25 | ||||||||
| 最大可搬質量 ※1［kg］ | 12 | 35 | 39 | 20 | ||||||||
| 有効ストローク長さ［mm］ | 2760 | 2720 | 1640 | 2720 | ||||||||
| 分解能［μm］ | 0.1 | 0.5 | 1.0 | 0.1 | 0.5 | 1.0 | 0.1 | 0.5 | 1.0 | 0.1 | 0.5 | 1.0 |
| 最高速度［mm/s］ | 690 | 2000 | 3000 | 690 | 2000 | 2000 | 690 | 2000 | 2000 | 690 | 2000 | 3000 |
| 繰返し位置決め精度［μm］ | ±0.5 | ±0.5 | ±1.0 | ±0.5 | ±0.5 | ±1.0 | ±0.5 | ±0.5 | ±1.0 | ±0.5 | ±0.5 | ±1.0 |
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LT・・・H【ハイスラストタイプ】
-
LT・・・Hは、テーブル案内部にCルーブリニアウェイEを使用し、コンパクト性を損なうことなく、リニアモータテーブルLTの中で最も大きな推力を発揮する、重量物の精密位置決めに最適なリニアモータテーブルです。
特長
高推力
コンパクトな形状でありながら、最大推力900Nを実現しています。
重量物の精密位置決めに最適です。
高加減速
軽量テーブルと高推力で高加減速・高応答を実現しています。
空冷
モータ部の発熱を抑える冷却機構をオプション設定しています。
タクトタイムの短縮を実現し、生産効率の向上に貢献します。
ラインアップ
| 項目 | ハイスラストタイプLT・・・H | ||
| LT170H | |||
| 断面形状 |  |
||
| 最大推力［N］ | 900 | ||
| 定格推力［N］ | 自冷：120 空冷：150 |
||
| 最大可搬質量 ※1［kg］ | 90 | ||
| 有効ストローク長さ［mm］ | 2670 | ||
| 分解能［μm］ | 0.1 | 0.5 | 1.0 |
| 最高速度［mm/s］ | 690 | 1500 (2000) |
1500 (2000) |
| 繰返し位置決め精度［μm］ | ±0.5 | ±0.5 | ±1.0 |
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アライメントステージSA・・・DE
-
リニアモータ駆動のX、Y軸は、分解能0.1μmと0.5μmの2種類をラインナップ。用途に合わせて最適な選択ができます。
アライメントステージSA・・・DEは、直線案内部にリニアウェイLとリニアモータ駆動を採用した可動テーブルを二軸直交に組み合わせたXY軸と、回転案内部のθ軸にクロスローラベアリングとダイレクトドライブモータを採用し、XYθ運動を実現する低断面でコンパクトなアライメントステージです。
高分解能リニアエンコーダとフルクローズドループ制御の組み合せにより、バックラッシのない高精度な位置決め動作を実現します。
さらに、直線移動用のX軸可動テーブルと、回転位置決め部であるθ軸ターンテーブルを標準化しているので、X軸とθ軸の組み合わせや、XY軸のアライメントテーブルを簡単に構築することができます。
特長
XYθの組み合わせが自由
直線移動用のXテーブルと、回転位置決め部であるθテーブルを基本構成としてラインナップ。
X軸とθ軸の組み合わせやXY軸のアライメントテーブルを簡単に構築することができます。
薄形・コンパクト
コアレスリニアモータとリニアウェイL、クロスローラベアリングを採用。
ボールねじ駆動のステージと比較して、極めて低い断面高さを実現しています。
高分解能・高応答
高分解能リニアエンコーダを内蔵したダイレクトドライブ方式のステージをフルクローズドループ制御することにより、高分解能と高精度を実現しました。
ラインアップ
| 形式と大きさ | SA65DE/X | SA120DE/X | SA200DE/X | SA65DE/S | SA120DE/S | SA200DE/S |
| 断面形状 |  |
 |
 |
 |
 |
 |
仕様
仕様・性能
| 項目 | 呼び番号 | |||||
| SA65DE/1X | SA65DE/5X | SA120DE/1X | SA120DE/5X | SA200DE/1X | SA200DE/5X | |
| 最大推力 ※1［N］ | 25 | 70 | 400(250)(※9) | |||
| 定格推力 ※2［N］ |
3.5 | 15(※8) | 70 | |||
| 有効ストローク長さ［mm］ |
10 | 20 | 20 | |||
| 最大可搬質量 ※3［kg］ |
2.4 | 5.9 | 30.0(20.0)(※9) | |||
| 分解能 ［μm］ |
0.1 | 0.5 | 0.1 | 0.5 | 0.1 | 0.5 |
| 最高速度 ※4※5［mm/s］ |
270 | 500 | 270 | 800 | 270 | 800 |
| 繰返し位置決め精度※6［μm］ |
±0.5 | |||||
| 可動部質量［kg］ |
0.17 | 1.2 | 3.4 | |||
| 総質量 ※7［kg］ |
0.35 | 2.5 | 7.2 | |||
| 使用周囲温度・湿度 | 0～40℃・20～80％RH（結露しないこと） | |||||
2 周囲温度20℃、金属製の相手部材に取り付けた場合です。
3 0.5Gの加速度が得られる最大質量です。
4 表示温度を超える場合については、IKOにお問い合わせください。
5 使用するコントローラの最高出力周波数、ドライバの種類・設定によっては、この最高速度に達しない場合があります。
6 製品本体の温度が一定の場合です。
7 コードの質量は含んでいません。
8 定格推力は、有効ストローク範囲内に適用します。
9 （ ）内の値はADVA-R5MLドライバと組み合わせた場合です。
| 項目 | 呼び番号 | ||||||
| SA65DE/S | SA65DE/T | SA120DE/S | SA120DE/T | SA200DE/S※8 | SA200DE/T※9 | ||
| 最大推力 ※1［N］ |
0.5 | 2.0 | 8.0（6.0） | ||||
| 定格推力 ※2［N］ |
0.06 | 0.4 | 2.0 | ||||
| 最大可搬質量 ※3［kg］ |
2.2 | 6.8 | 21.2（17.1） | ||||
| 有効動作角度 ［度］ |
50 | 無限回転 | 60 | 無限回転 | 280 | 無限回転 | |
| 分解能 | ［秒］ |
0.64 | 0.63 | 0.36 | 0.25 | 0.50 | |
| ［pulse/度］ | 5625 | 5700 | 10000 | 14400 | 7200 | ||
| 最高速度 ※4※5［mm/s］ |
720 | 400 | 720 | 270 | 720 | ||
| 繰返し位置決め精度※6［μm］ |
±1.3 | ±0.8 | ±0.5 | ±1.0 | |||
| 可動部慣性モーメント［kg・㎡］ |
0.00012 | 0.002 | 0.013 | ||||
| 総質量 ※7［kg］ |
0.5 | 2 | 6.0 | ||||
| 使用周囲温度・湿度 | 0～40℃・20～80％RH（結露しないこと） | ||||||
2 周囲温度20℃、金属製の相手部材に取り付けた場合です。
3 0.5Gの加速度が得られる最大質量です。
4 表示温度を超える場合については、IKOにお問い合わせください。
5 使用するコントローラの最高出力周波数、ドライバの種類・設定によっては、この最高速度に達しない場合があります。
6 製品本体の温度が一定の場合です。
7 コードの質量は含んでいません。
8 （ ）内の値はADVA-R5MLドライバ(100V)と組み合わせた場合です。
